Nume produs: Scandium Sputtering Target
Porecla produsului: țintă de scandiu, ansamblu țintă de scandiu, țintă Sc
Aspect: argintiu
Punct de topire: 1541 grade
Punct de fierbere: 2836 grade
Densitate: 2,985 g/cm3
Puritate: Sc/TREM Mai mare sau egal cu 99,99% TREM Mai mare sau egal cu 99,9%
Density: >99.5%
Dimensiunea medie a boabelor:<500μm
Rugozitate indicată:<2μm
Specificații: țintă avion, țintă rotundă, țintă rotativă (dimensiunea poate fi personalizată în funcție de cerințele clientului)
Legare: lipire cu indiu (metoda de legare și materialul plăcii din spate pot fi personalizate în funcție de clienți)
Caracteristici tehnice: turnare ultra-vacuum, curățare ținte și prelucrare plastic
Utilizări ale țintei de scandiu:
Ținta de pulverizare cu scandiu este un material cheie pentru prepararea peliculelor subțiri de metal scandiu prin depunere fizică de vapori (PVD). Ansamblul țintă de scandiu este compus dintr-un semifabricat țintă de scandiu și o placă din spate lipite împreună. Blankul țintă de scandiu este materialul țintă pentru bombardarea cu fascicul de ioni de mare viteză și este partea centrală a țintei de pulverizare. În timpul procesului de acoperire prin pulverizare, după ce blankul țintă de scandiu este lovit de ioni, atomii de scandiu de pe suprafața sa sunt pulverizați și depuși pe substrat. Pe ele sunt realizate filme subțiri electronice. Deoarece metalul scandiu de înaltă puritate este moale, ținta de pulverizare trebuie instalată într-o mașină specială pentru a finaliza procesul de pulverizare. Interiorul mașinii este un mediu de înaltă tensiune și vid înalt. Prin urmare, semifabricatul țintă de scandiu trebuie să fie lipit cu placa din spate prin diferite procese de sudare. Placa din spate joacă în principal rolul de a fixa ținta de pulverizare și trebuie să aibă o conductivitate electrică și termică bună și este în general realizată din cupru. Există patru metode de legare utilizate în mod obișnuit: sudarea cu fascicul de electroni, sudarea prin difuzie, lipirea cu indiu și lipirea adezivă. Dintre acestea, legarea prin lipire cu indiu este cea mai utilizată.
Filmele metalice cu scandiu pot fi folosite pentru a prepara filme piezoelectrice AlScN, care sunt în prezent materiale semiconductoare foarte promițătoare. Materialul film piezoelectric AlScN are avantaje semnificative, cum ar fi viteza mare a sunetului, stabilitate termică bună, bandă interzisă largă și este compatibil în special cu procesul CMOS. În același timp, poate depăși coeficientul piezoelectric mic și coeficientul de cuplare electromecanic al filmului piezoelectric de nitrură de aluminiu (AlN). Are aplicații importante în unde acustice în vrac (BAW), unde acustice de suprafață (SAW), colectare de energie, detecție cu ultrasunete și tranzistori cu efect de câmp. Prin doparea unui conținut ridicat de scandiu în nitrură de aluminiu, performanța piezoelectrică și coeficientul de cuplare electromecanic al dispozitivelor cu frecvență radio pot fi îmbunătățite semnificativ. AlScN poate înlocui materialele cu nitrură de aluminiu în filtrele BAW (FBAR)/SAW cu frecvență radio 5G și are perspective mari de aplicare în domeniul dispozitivelor de putere de nouă generație.
In semiconductor chip coating, there are strict requirements on the purity and microstructure of the scandium target. If the impurity content is too high, the formed film will not be able to achieve the required electrical properties for use, and will easily form on the wafer during the sputtering process. Particles are formed on the film, causing short circuit or damage to the circuit, which will seriously affect the performance of the film. The scandium targets produced by HNRE use high-purity scandium raw material Sc/TREM>99.99%. After rolling porcess, the grain size is less than 500μm and the density is>99,5%. A fost furnizat multor companii de semiconductori de renume mondial.
Tag-uri populare: țintă metalică scandiu, China producători ținte metalice scandiu, furnizori, Ținte de pământ rare pentru utilizatorul distribuitorului, ținte rare ale Pământului pentru protecția mediului, Ținte de pământ rare pentru utilizatorul utilizatorului final, ținte rare ale Pământului pentru utilizatorul angrosist, Ținte de pământ rare pentru utilizatorul consumatorului, Ținte de pământ rare pentru utilizatorul industrial